반도체 공장서 벤젠 등 발암성 물질 발생

[쿠키 건강] 삼성전자 일부 공장 등 반도체 공장에서 작업공정 중 발암성 물질이 부산물로 발생한 것으로 조사됐다.

고용노동부 산하 한국산업안전보건공단은 2009년부터 지난해까지 3년 간 ‘반도체 제조 사업장 정밀 작업환경평가 연구’를 진행한 결과 벤젠 등 일부 발암물질이 극소량 발견됐다고 6일 발표했다.

이번 연구는 최초 백혈병이 발생한 사업장과 유사 공정을 보유한 삼성 기흥공장·온양공장, 하이닉스 인천공장·청주공장의 웨이퍼 가공라인 및 반도체 조립라인을 대상으로 했다.

연구결과에 따르면 백혈병 발병 원인으로 알려진 벤젠은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인 일부 공정에서 부산물로 발생했다. 노출기준인 1ppm보다 매우 낮아 인체에 직접 영향을 미치는 수준은 아니지만 발암성 물질이란 점에서 관리가 필요한 것으로 나타났다

전리방사선은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인에서 0.011~0.015m㏜/yr가 측정됐다. 개인 노출선량한도인 50m㏜/yr보다는 낮은 수치였다.

산업안전보건연구원은 “노출기준인 1ppm보다 매우 낮아 인체에 직접 영향을 미치는 수준은 아니나 발암성물질이란 점에서 관리가 필요한 것으로 나타났다”고 말했다.

한편 백혈병 유발 인자는 아니나 폐암 유발 인자로 알려진 비소는 웨이퍼 가공라인의 이온주입공정(임플란트)에서 부산물로 발생하고 노출기준인 0.01mg/㎥을 초과한 0.001~0.061mg/㎥이 검출됐다.

특히 이온 주입공정 유지보수 작업을 수행하는 협력업체 근로자에게 노출 위험이 높아 이에 대한 대책이 필요한 것으로 나타났다.

산업안전보건연구원은 이번 연구결과를 바탕으로 올해 상반기 중 반도체 산업 근로자를 위한 ‘건강관리 가이드’를 제작·배포하고 안전보건 관리자 등을 대상으로 설명회를 개최할 계획이다. 국민일보 쿠키뉴스 김성지 기자 ohappy@kukimedia.co.kr