삼성전자가 최근 반도체 생산 공정에 사용되던 일본산 불화수소(에칭가스) 일부를 국산 제품으로 대체한 것으로 3일 확인됐다. 삼성전자 관계자는 “반도체 생산라인 일부 공정에서 일본산 이외의 제품을 투입했다”고 설명했다. 불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재이다. 지난 7월 일본이 불화수소 등 반도체 생산에 필요한 핵심 소재 수출 규제를 강화한 이후 두 달 만에 대체재를 찾아 적용한 셈이다. 삼성전자는 국내 업체 솔브레인, 이엔에프테크놀로지의 불화수소를 납품받아 생산 공정에 사용한 것으로 알려졌다.
삼성전자는 우선 민감도가 낮은 공정에 사용되는 저순도 불화수소부터 국산 제품을 사용한 뒤 소재 수급 상황을 종합적으로 판단해 확대 적용을 검토할 계획이다. 삼성전자는 “소재 다변화 노력은 지속적으로 하고 있고 시간이 더 많이 필요한 상황”이라며 “기존 거래처와 협력도 계속 이어가겠다는 방침”이라고 설명했다.
삼성전자는 지난 7월 일본이 불화수소, 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드 등 반도체 생산에 필요한 핵심 소재 수출 규제를 강화키로 한 이후 대체재 테스트를 꾸준히 진행해 왔다. 테스트를 마치고 생산라인에 적용하기까지 최소 3개월에서 6개월까지 시간이 걸릴 것으로 전망됐으나, 예상보다 이른 시간에 실전 투입이 이뤄졌다.
앞서 LG디스플레이도 국산 불화수소를 공정에 사용하기 시작했으며, 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 마무리할 것으로 알려졌다. SK하이닉스도 양산 투입 시기를 고민 중인 것으로 전해졌다.
김준엽 기자 snoopy@kmib.co.kr