인천대 진성훈교수, 차세대 반도체 탄소나노튜브 상용화 걸림돌 제거 쾌거 “세계적 명성 얻었다”

인천대학교는 이 학교 진성훈(전자공학과) 교수가 차세대 반도체 소자로 각광받고 있는 탄소나노튜브(CNT) 트랜지스터 상용화의 가장 큰 걸림돌 중의 하나였던 웨이퍼 스케일의 대면적·고순도(99.9925%) CNT 정제 기술 개발에 새로운 돌파구를 열었다고 13일 밝혔다.

진 교수의 연구결과는 지난 12일 세계적인 과학전문지인 ‘네이처 커뮤니케이션즈’에 ‘Microwave purification of large-area horizontally aligned arrays of single-walled carbon nanotubes (초고주파 기반의 수평으로 정렬된 탄소나노튜브 대면적 정제기술)’이라는 제목으로 게재됐다.

진 교수는 이번 연구의 주저자로 참여했으며, 미국의 일리노이주립대 존 로저스 교수팀과 공동연구를 펼쳤다.

진 교수는 “이번 연구는 기존의 줄 열 기반의 선택적 트랜치 형성 방법보다도 공정을 탁월하게 단순화시키고, 웨이퍼 기반의 대면적에 적용할 수 있는 기술을 새롭게 제시한 것”이라고 의미를 설명했다.

진 교수는 이어 “기술개발에 따라 탄소나노튜브 정제를 마이크로웨이브의 파워 조절을 통해서 웨이퍼 크기까지 확장하면서도, 고순도의 정제를 할 수 있는 CNT기반의 양산화 기술에 초석이 될 수 있을 것”이라고 강조했다.

이에 따라 이번 연구는 초고주파 영역의 트랜지스터, 재구성 가능소자, 광전자 소자, 센서 등 다양한 분야에서 응용이 가능할 것을로 기대된다.

한편 지난 8월 인천대에 임용된 진 교수는 지난해에도 이 기술의 원천기술의 내용으로 세계적인 과학저널인 Nature Nanotechnology에 제1저자로 논문을 발표하는 등 세계적인 경쟁력을 갖췄다는 평가를 받고 있다.

인천=정창교 기자 jcgyo@kmib.co.kr