글로벌 화학소재기업 듀폰이 한국에 극자외선(EUV)용 포토레지스트 생산시설을 구축한다. 포토레지스트는 삼성전자의 7나노 EUV 공정에 반드시 필요한 소재다. 일본이 지난해 7월부터 시작한 수출규제 품목 중 하나다. 듀폰의 한국 투자로 일본 소재·부품 의존도를 낮출 수 있다는 기대감이 높다.
9일 산업통상자원부에 따르면 듀폰은 EUV 포토레지스트 개발·생산시설을 한국에 짓기로 확정하고 코트라에 2800만 달러 규모의 투자 신고서를 제출했다. 투자 지역은 듀폰의 생산공장이 있는 충남 천안이다. 투자 예상기간은 2020∼2021년이다. 성윤모 산업부 장관은 미국에서 지난 8일 듀폰의 존 켐프 사장과 별도 면담을 가졌다.
듀폰은 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발과 공급 다변화 요구에 부응하고, EUV용 포토레지스트 등 점차 성장하는 시장에 선제 대응하기 위해 한국 투자를 결정했다고 밝혔다. 산업부는 일본의 수출규제 이후 핵심 소재·부품·장비 공급의 안정화를 위해 듀폰과 직접 접촉하며 투자 유치를 협의해 왔다.
성윤모 산업부 장관은 “최근 일본 정부가 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가를 허용하는 등 일부 진전이 있지만 근본적 해결방안으로 보기 어렵다. 정부는 핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 강조했다.
김준엽 기자, 세종=이종선 기자
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