±â¼ú ÃʰÝÂ÷ ¹ú¸®´Â »ï¼ºÀüÀÚ, ÃÖ÷´Ü 5³ª³ë ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °³¹ß

ÀÔ·Â:2019-04-16 19:21
°øÀ¯Çϱâ
±ÛÀÚ Å©±â Á¶Á¤

7³ª³ë¡¤6³ª³ë °øÁ¤µµ ¾ç»ê º»°ÝÈ­¡¦ ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß Á¡À¯À² È®´ë ³ª¼­

»ï¼ºÀüÀÚ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¼ú ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀÌ °æ±âµµ È­¼º¿¡ Áö¾îÁö°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÷´Ü Ãʹ̼¼ ±â¼ú ±â¹ÝÀÇ 5³ª³ë ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù. ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀ» Àå¾ÇÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¼öŹ»ý»ê) ºÐ¾ß¿¡¼­µµ ¡®±â¼ú ÃʰÝÂ÷¡¯¸¦ ±¸ÇöÇϸç Á¡À¯À² È®´ë¿¡ ³ª¼­´Â ¾ç»óÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 16ÀÏ ¡°¼³°è ÃÖÀûÈ­¸¦ ÅëÇØ ±âÁ¸ °øÁ¤º¸´Ù Àü·Â È¿À²°ú ¼º´ÉÀ» ´ëÆø Çâ»óÇÑ Â÷¼¼´ë 5³ª³ë °øÁ¤À» °³¹ßÇß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.

5³ª³ë °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ȸ·Î »çÀÌÀÇ °£°ÝÀ» ¾ÆÁÖ ÀÛÀº °£°ÝÀÎ 5§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ)·Î ±¸ÇöÇÏ´Â Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÌ´Ù. 1§¬´Â ¸Ó¸®Ä«¶ô ±½±âÀÇ 10¸¸ºÐÀÇ 1 Å©±â´Ù. ȸ·Î »çÀÌ °£°ÝÀÌ Á¼À»¼ö·Ï ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ ºÎÇÇ´Â ÁÙ¾îµé°í, ´ã±â´Â Á¤º¸ÀÇ ¾çµµ ¸¹¾ÆÁø´Ù.

ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ßÀº ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¹ÝÀ̶ó´Â µ¥ Àǹ̰¡ Å©´Ù. EUV´Â ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëÇß´ø ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF)À» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¤¿øÀ¸·Î ÆÄÀåÀÇ ±æÀ̰¡ ª¾Æ ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏ ±¸Çö¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. °Ô´Ù°¡ »õ 5³ª³ë °øÁ¤Àº 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÈ ¼³°è ÀÚ»êÀ» Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î ¼³°è ºñ¿ëµµ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ÃÊ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇØ ¾ç»ê üÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç°À» ÀÌ´Þ Áß º»°ÝÀûÀ¸·Î ÃâÇÏÇϱâ·Î Çß´Ù. 6³ª³ë °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇØ¼­´Â ´ëÇü °í°´»çµé°ú »ý»ê ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù Á¦Ç° ¼³°è°¡ ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ¿Ï·áµÊ¿¡ µû¶ó ¿Ã ÇϹݱ⿡ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¼ú È®º¸¸¦ ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú ¸®´õ½Ê°ú 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀ» À̲ø ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀÇ °æÀï·ÂÀ» °­È­ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ýÅÂ°è ¹ßÀü°ú ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡µµ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, ¼ÒÀç, µðÀÚÀÎ, ÆÐŰ¡, Å×½ºÆ® µî ´Ù¾çÇÑ Àü¹®¾÷üµéÀÌ µÞ¹ÞħµÅ¾ß ÇØ¼­ ÀüÈÄ¹æ »ê¾÷ ¿¬°ü È¿°ú°¡ Å©´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃֽŠÆÄ¿îµå¸® »ý»ê½Ã¼³ÀÎ °æ±âµµ È­¼ºÄ·ÆÛ½º S3 ¶óÀο¡¼­ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇϰí ÀÖ´Ù. ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀÎ È­¼ºÄ·ÆÛ½º EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀº ³»³âºÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î °¡µ¿ÇÑ´Ù.


¾ÕÀ¸·Î »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÆÄ¿îµå¸® ¾÷°è 1À§ ´ë¸¸ TSMC °£ ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ¼öÁÖ °æÀïµµ Ä¡¿­ÇÏ°Ô Àü°³µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

TSMC´Â ÃÖ±Ù 5³ª³ë °øÁ¤¿¡ Ȱ¿ëÇÒ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è Ç÷§ÆûÀ» »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ¾Õ¼­ ¿Ï¼ºÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. 7³ª³ë EUV ¾ç»ê Á¦Ç°Àº ¿Ã »ó¹Ý±â Áß »ï¼ºÀüÀÚº¸´Ù ´Ê°Ô ³»³õÀ» Àü¸ÁÀÌ´Ù.

¼¼°è ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº TSMC¿Í »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °¢°¢ 48.1%, 19.1%´Ù.

À¯¼º¿­ ±âÀÚ nukuva@kmib.co.kr



GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
Ŭ¸¯! ±â»ç´Â ¾î¶°¼Ì³ª¿ä?
¸¹ÀÌ º» ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸°¡ ²Ä²ÄÈ÷ Àо°í ¼±Á¤ÇÑ
¿À´ÃÀÇ Ãßõ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸ ½Å¹®±¸µ¶