¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú R&D¿¡ 3Á¶ ÀÌ»ó ÅõÀÚ

ÀÔ·Â:2020-07-30 23:13
°øÀ¯Çϱâ
±ÛÀÚ Å©±â Á¶Á¤

SKÇÏÀ̴нº

°æ±â ÀÌõ¿¡ À§Ä¡ÇÑ SKÇÏÀ̴нº M14 ¹ÝµµÃ¼ °øÀå Àü°æ. SKÇÏÀ̴нº Á¦°ø

SKÇÏÀ̴нº´Â ¹ÝµµÃ¼ ½ÃȲÀÇ ºÒÈ®½Ç¼º ¼Ó¿¡¼­µµ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ÁÖµµ±ÇÀ» ÁöÄѳª°¡±â À§ÇØ ´ë±Ô¸ð ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ÅõÀÚ¸¦ À̾°í ÀÖ´Ù.

2013³â ÀÌÈÄ ¿¬±¸°³¹ßºñ¿¡¸¸ ²ÙÁØÈ÷ 1Á¶¿ø ÀÌ»óÀ» ÅõÀÔÇϰí ÀÖÀ¸¸ç 2016³â¿¡´Â »ç»ó óÀ½À¸·Î 2Á¶¿øÀ» ³Ñ±â¸ç ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ 12.2%¿¡ ´ÞÇÏ´Â 2Á¶967¾ï¿øÀ» ÁýÇàÇß´Ù. 2019³â¿¡´Â »ç»ó ÃÖ°íÀÎ 3Á¶1960¾ï ¿øÀ» ¿¬±¸°³¹ßºñ·Î ÅõÀÚÇÏ¸ç °íǰÁú °í»ç¾çÀÇ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ °³¹ßÀ» Áö¼ÓÇϰí ÀÖ´Ù. ±× °á°ú ½ÃÀåÀÇ È帧¿¡ ¹ß¸ÂÃç źźÇÑ ±â¼ú·Â°ú Á¦Ç° Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ °®Ã糪°¡°í ÀÖ´Ù.

SKÇÏÀ̴нº´Â ´Ã¾î³ª´Â ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇÑ »ý»ê ´É·Â È®Ãæ¿¡µµ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù. 2015³â °æ±â ÀÌõ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ °øÀå M14°¡ ÁذøµÆ°í, 2018³â 10¿ù¿¡´Â 2Á¶2000¾ï¿øÀÇ °Ç¼³ ÅõÀÚ°¡ ÁýÇàµÈ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ °øÀå M15°¡ ÃæºÏ ûÁÖ¿¡ ¿Ï°øµÆ´Ù. ûÁÖ¿¡´Â 10³â°£ 35Á¶¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ÁýÇàÇØ ³½µå ¼ö¿ä¿¡µµ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. °øÀå Áõ¼³·Î ÀÎÇÑ ¹°·® ´ëÀÀÀ» À§ÇØ Áß±¹ ÃæÄª ÈİøÁ¤ °øÀåÀÇ »ý»ê´É·Âµµ È®ÃæÇß´Ù.

SKÇÏÀ̴нº´Â ¿ÃÇØ ÇϹݱâ±îÁö 3Á¶5000¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇØ ÀÌõ¿¡ M16À» °Ç¼³ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÀÌ °øÀå¿¡´Â EUV(±ØÀڿܼ±, Extreme Ultra Violet) Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇÑ°è ±Øº¹¿¡ ³ª¼³ °èȹÀÌ´Ù. EUV´Â ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ±¤¿øÀ¸·Î, ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´ø ±¤¿øÀÎ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF)º¸´Ù ÆÄÀå ±æÀ̰¡ ª¾Æ ´õ¿í ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

SKÇÏÀ̴нº´Â 2021³â ÃʱîÁö EUV¸¦ Àû¿ëÇØ 4¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1A) D·¥ °³¹ßÀ» ÁøÇàÇÒ °èȹÀÌ´Ù. 2022³â¿¡´Â 5¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1B) D·¥ µî EUV¸¦ Àû¿ëÇÑ D·¥ Á¦Ç°±ºÀ» È®´ëÇØ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ »ý»ê¼º°ú °æÀï·ÂÀ» À¯ÁöÇϸ鼭 ¸Þ¸ð¸® »ê¾÷ ³» ¸®´õ½Êµµ Áö¼Ó È®º¸ÇÑ´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.

GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
Ŭ¸¯! ±â»ç´Â ¾î¶°¼Ì³ª¿ä?
¸¹ÀÌ º» ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸°¡ ²Ä²ÄÈ÷ Àо°í ¼±Á¤ÇÑ
¿À´ÃÀÇ Ãßõ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸ ½Å¹®±¸µ¶