
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ǰ¸ñÀÎ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×)¸¦ º§±â¿¡¿Í ÀϺ» ¾÷üÀÇ ÇÕÀÛ ¹ýÀο¡¼ Á¶´ÞÇÏ´Â ¹æ¾ÈÀ» ãÀº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ °ÈµÈ Áö ÇÑ ´ÞÀÌ ³Ñ¾î°¡ÀÚ ÀϺΠÀϺ» ±â¾÷µéµµ ¡®°í°´ ÁöŰ±â¡¯ Â÷¿ø¿¡¼ °ø±Þ¸Á ´Ùº¯È¿¡ ³ª¼´Â ¿òÁ÷ÀÓÀÌ Æ÷ÂøµÇ°í ÀÖ´Ù. ±î´Ù·Î¿öÁø ±ÔÁ¦¸¦ ÇÇÇØ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ Á¦3±¹¿¡¼ »ý»êÇÑ Á¦Ç°À» Çѱ¹¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â ·çÆ®¸¦ ã°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. ±¹³» ¾÷üµéµµ ´çÀå Á¦Ç° »ý»ê¿¡ Â÷ÁúÀ» ºúÁø ¾Ê°Ô µÇ¸é¼ ¾÷°è´Â ÇѼû µ¹¸° ºÐÀ§±â´Ù.
ÀϺ» °æÁ¦Àü¹® ¸ÅüÀÎ ¡®´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾Æ ¸®ºä¡¯´Â 11ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â µ¥ ¾²ÀÌ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ º§±â¿¡¿¡¼ Á¶´ÞÇϰí ÀÖ´Ù°í º¸µµÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀϺ» ÈÇо÷üÀÎ JSR°ú ÇöÁö ¿¬±¸¼¾ÅÍ IMECÀÇ ÇÕÀÛ ¹ýÀÎÀÌ »ý»êÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °ø±Þ¹Þ°Ô µÊ¿¡ µû¶ó 6~10°³¿ù ºÐÀÇ Àç°í¸¦ È®º¸ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ¿À´Â 28ÀϺÎÅÍ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¡®ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®¡¯ ¹èÁ¦ Á¶Ä¡ ½ÃÇà¿¡ µ¹ÀÔÇÏÁö¸¸, ÀϺ»±â¾÷ÀÌ Âü¿©ÇÑ ÇØ¿Ü ÇÕÀۻ翡±îÁö ÅëÁ¦ ¹üÀ§¸¦ ³ÐÈ÷Áö´Â ¸øÇØ ±¹³» ¾÷ü°¡ ¼ÒÀç ¼ö±ÞÀ» ¹ÞÀ» ±æÀº ¿·Á ÀÖ´Â ¼ÀÀÌ´Ù. ´Ù¸¸ ´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾Æ ¸®ºä°¡ ¹ß¾ðÀ» ÀοëÇÑ ¹ÚÀç±Ù ÇѾç´ë À¶ÇÕÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö´Â À̸¦ ºÎÀÎÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ Ãâ½ÅÀÎ ¹Ú ±³¼ö´Â ¡°´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾Æ ¸®ºä¿Í ÀÎÅͺ並 ÇÑ ÀûÀÌ ¾ø´Ù. ÇØ´ç »ç½ÇÀ» ¾ËÁö ¸øÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÃÖ±Ù ½Å¿¡¾²ÈÇÐÀÌ ½ÅûÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Çѱ¹ ¼öÃâÀ» ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ 30¿©ÀÏ ¸¸¿¡ Çã°¡ÇÑ °Íµµ ºñ½ÁÇÑ ¸Æ¶ôÀ̶ó´Â ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Â´Ù. Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÌ ÁÖ°í°´ÀÎ ÀÚ±¹ ÈÇÐ ¼ÒÀç ¾÷üµéÀÌ ±Û·Î¹ú °ø±Þ »ç½½ ³»¿¡¼ ÇÇÇØ¸¦ ÀÔÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡À» ÀÚÀÎÇÑ ¸ð¾ç»õ´Ù.
ÀϺ»ÀÇ ¶Ç ´Ù¸¥ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ǰ¸ñÀÎ ºÒȼö¼Ò Á¦Á¶¾÷üµéµµ ÇØ¿Ü °øÀåÀ¸·Î ´«À» µ¹¸®°í ÀÖ´Ù. ÀϺ» ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®Àº ¸ð¸®Å¸ÈÇаø¾÷ÀÌ ¿ÃÇØ ¾È¿¡ Áß±¹ °øÀå¿¡¼ »ý»êÇÏ´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇÏ´Â ¹æ¾ÈÀ» °ËÅäÇϰí ÀÖ´Ù°í ÃÖ±Ù º¸µµÇß´Ù. ¸ð¸®Å¸ ¾ß½º¿À »çÀåÀº ¡°¼öÃâ ±ÔÁ¦ ¹®Á¦°¡ °è¼ÓµÇ¸é ÀϺ» ´ë½Å Áß±¹¿¡¼ Çѱ¹À¸·Î ¹°·®À» º¸³¾ ¼öµµ ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çϸç ÁÖ¿ä °í°´ÀÎ Çѱ¹¿¡ ¿ìȸ °ø±Þ¸ÁÀ» ÅëÇØ¼¶óµµ ¼öÃâÀ» À̾°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ ¹àÇû´Ù. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ Àû±ØÀûÀ¸·Î ´ëüÀç ã±â¿¡ ³ª¼ÀÚ ¹ßµî¿¡ ºÒÀÌ ¶³¾îÁø ÀϺ» ¾÷üµéÀÌ ÀÚ±¹ Á¤ºÎ ¹æÄ§°ú´Â º°°³·Î ½Ç¸®¸¦ ÅÃÇÏ´Â ¿òÁ÷ÀÓÀ» º¸À̰í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°ÀϺ» ±â¾÷µéÀÌ Á¤ºÎÀÇ ´«Ä¡¸¦ º¼ ¼ö¹Û¿¡ ¾øÁö¸¸ ÇØ¿Ü¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¹ýÀÎÀ̶ó¸é ¾ê±â°¡ ´Ù¸£´Ù¡±¸é¼ ¡°Á¦3±¹¿¡ ÀÖ´Â ÀϺ» ÀÚȸ»ç°¡ ¼ÒÀ縦 Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇÏ´Â °ÍÀº ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ Á¦Àç ´ë»óÀÌ ¾Æ´Ï±â ¶§¹®¿¡ ÃæºÐÈ÷ °¡´ÉÇÏ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÀϺ»ÀÌ ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ® Á¦¿Ü Á¶Ä¡¿Í´Â º°°³·Î ¼öÃâ °³º°Çã°¡ ǰ¸ñÀ» Ãß°¡·Î ÁöÁ¤ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é¼ °ü·Ã ¾÷°è´Â ÀÏ´Ü ¾ÈµµÇÏ´Â ºÐÀ§±â´Ù. ±¹³» ±â¾÷Àº ÀϺ» Á¤ºÎ·ÎºÎÅÍ ÀÚÀ²ÁؼöÇÁ·Î±×·¥(ICP) ÀÎÁõÀ» ¹ÞÀº ±â¾÷¿¡¼ 3³â ´ÜÀ§ Æ÷°ýÇã°¡¸¦ Àû¿ë¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾î Áö±Ýó·³ Å« Â÷Áú ¾øÀÌ ÀϺ»»ê Àü·«¹°ÀÚ °ü·Ã Á¦Ç° ¼öÀÔÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ƯÈ÷ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÇ ÀϺ» ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº ±¹³» ¹èÅ͸® ¾÷°èÀÇ °æ¿ì ÁÖ °Å·¡Ã³ÀÎ µµ·¹ÀÌ, DNP, ¼î¿Í, µ§ÄÚ µîÀÌ ICP ÀÎÁõÀ» ¹ÞÀº °÷µéÀ̶ó ´çÀåÀÇ À§ÇùÀº ¾ø´Â »óȲÀÌ´Ù. Ãß°¡ Á¦Àç°¡ µîÀåÇÒ À§ÇèÀº ÀÖÁö¸¸ ÀÌ¿¡ ´ëºñÇÒ ½Ã°£Àº ¹ú¾î³õÀº ¼ÀÀÌ´Ù.
±Û·Î¹ú ÅõÀÚÀºÇàÀÎ °ñµå¸¸»è½º´Â ÃÖ±Ù º¸°í¼¸¦ ÅëÇØ ¡°ÇÑ¡¤ÀÏ ¹«¿ª ºÐÀï »óȲÀÇ ¾ÇÈ ¿ì·Á·Î D·¥ °¡°ÝÀÌ ¿Ã¶ó°¡°í ÀÖÁö¸¸ ½ÇÁ¦ »ý»ê Â÷Áú·Î À̾îÁöÁö ¾ÊÀ» °Í¡±À̶ó°í Àü¸ÁÇß´Ù.
±è¼ºÈÆ ±âÀÚ hunhun@kmib.co.kr
GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
2087