반도체 기술에서 극자외선(EUV) 노광 장비는 핵심으로 꼽힌다. 반도체 원판인 웨이퍼에 빛을 이용해 회로를 새기는 공정을 하는 이 장비는 반도체 첨단 연구에 없어서는 안 되는 필수 장비 중 하나다. 하지만 대당 수천억원의 가격으로 국내 학계에서는 이 장비를 사용한 연구는 제대로 이뤄지지 못하고 있다.
미국 뉴욕주 올버니에 있는 뉴욕 크리에이츠(NY Creates)는 학계와 업계 인력들의 장비 고민을 해결해주는 곳이다. 비영리로 운영되는 이곳은 각국 기업과 연구진들과 협력해 반도체 기술 연구·개발(R&D)을 지원한다. IBM과 반도체 장비 업체 어플라이드머티리얼즈 등이 대표적 협력사다.
지난 1일(현지시간) 찾은 뉴욕 크리에이츠는 차세대 극자외선 노광 장비인 ‘하이(High)-NA EUV’ R&D 센터를 짓는 공사가 한창이었다. 뉴욕주는 뉴욕 크리에이츠의 R&D 센터 신축을 위해 고속도로 위치까지 바꾸며 통 크게 지원했다. 연구단지를 가로지르는 고속도로를 외곽으로 빼내고, 그 자리에 R&D 센터를 짓도록 했다. 국내 용인 반도체 클러스터에 송전망 건설과 용수 공급이 지연되고 있는 것과는 상반되는 분위기다. 뉴욕주가 10억 달러(약 1조3400억원)를 지원해 건설되는 R&D 센터는 2026년 1월 완공될 예정이다.
폴 켈리 뉴욕 크리에이츠 최고운영관리자(COO)는 “북미에서 짓는 가장 최첨단의 R&D 센터가 될 것이라고 자부한다”며 “학교나 중소기업은 고가의 장비와 시설을 갖추기 어려운 만큼 전 세계 연구진이 이곳에 모여 개발하고 연구할 수 있도록 도울 것”이라고 말했다.
뉴욕 크리에이츠는 미국 바깥의 기업이나 연구 기관에도 문호를 열었다. 국내 연구진도 올해 뉴욕 크리에이츠와 기술 협력을 맺어 반도체 시설을 사용할 수 있게 됐다. 나노종합기술원은 뉴욕 크리에이츠와 업무협약(MOU)을 체결하고 공동 R&D와 인력 교류에 나서기로 했다. 지난해 4월 한·미 정상회담과 한·미 과학기술공동위원회 논의를 거쳐 맺은 결실이다. 과학기술정보통신부는 한·미 정상회담 이후 반도체, 바이오, 양자 등 국가전략기술 분야의 양국 간 과학기술 협력을 강화하고 있다. 켈리 COO는 “나노종기원뿐 아니라 세종대 등 한국 대학 연구진과도 협업을 논의하고 있다”며 “한국뿐 아니라 프랑스, 일본 연구진도 뉴욕 크리에이츠에서 반도체 연구를 하고 있다”고 말했다.
뉴욕 크리에이츠는 미국 내 인력 양성에도 적극 나서고 있다. 향후 10년간 반도체 인력 1만명 이상 양성을 위해 퇴역 군인들을 재교육하고, 반도체 공장에서 일한 경험이 있는 인력들을 전문가로 육성하는 작업을 추진 중이다. 켈리 COO는 “뉴욕 크리에이츠에는 올버니대와 렌셀러 폴리테크닉대(RPI)에서 반도체를 연구하는 과들도 입주해 있어 곧바로 엔지니어로 육성할 수 있다”며 “뉴욕 크리에이츠의 목적 중 하나가 반도체 인력 양성인 만큼 대학과의 협업을 확대하고 있다”고 했다.
올버니=심희정 기자 simcity@kmib.co.kr
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