»ï¼º, 7³ª³ë EUV °³¹ß ¿Ï·á¡¦ ³¯°³ ´Ü ¡®ÆÄ¿îµå¸®¡¯ »ç¾÷

ÀÔ·Â:2018-10-19 04:04
°øÀ¯Çϱâ
±ÛÀÚ Å©±â Á¶Á¤

Ú¸ ½Ç¸®Äܹ븮 ¡®»ï¼º Å×Å©µ¥ÀÌ 2018¡¯¼­ ¹àÇô

»ï¼º, 7³ª³ë EUV °³¹ß ¿Ï·á¡¦ ³¯°³ ´Ü ¡®ÆÄ¿îµå¸®¡¯ »ç¾÷ ±â»çÀÇ »çÁø
ÃÖÁÖ¼± »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÌÁÖÁö¿ªÃѰý ºÎ»çÀåÀÌ 17ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÌÁÖ»ç¿Á¿¡¼­ ¿­¸° ¡®»ï¼º Å×Å©µ¥ÀÌ 2018¡¯¿¡¼­ »ï¼º ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇϰí ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
»ï¼º, 7³ª³ë EUV °³¹ß ¿Ï·á¡¦ ³¯°³ ´Ü ¡®ÆÄ¿îµå¸®¡¯ »ç¾÷ ±â»çÀÇ »çÁø
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 2020³â±îÁö 60¾ï ´Þ·¯¸¦ ÅõÀÔÇØ °¡µ¿ÇÒ È­¼ºÄ·ÆÛ½º EUV ¶óÀÎ Á¶°¨µµ. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È­ ÇÙ½É ±â¼úÀÎ 7³ª³ë ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê(ÆÄ¿îµå¸®) ºÐ¾ß¿¡¼­ Àü ¼¼°è ¾÷ü Áß °¡Àå ¾Õ¼± ±â¼úÀ» È®º¸ÇÔ¿¡ µû¶ó ¾ÖÇÃ, Ä÷ÄÄ µî ÁÖ¿ä °í°´À» µÇã´Â µ¥ Áß¿äÇÑ Àü±â°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 17ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÌÁÖ¹ýÀÎ(DSA) »ç¿Á¿¡¼­ ¡®»ï¼º Å×Å©µ¥ÀÌ 2018¡¯À» ¿­¾î 7³ª³ë EUV °øÁ¤ »ý»ê¿¡ Âø¼öÇß´Ù°í 18ÀÏ ¹àÇû´Ù. ¹ÝµµÃ¼´Â °øÁ¤ÀÌ ¹Ì¼¼È­ÇÒ¼ö·Ï Àü·Â ¼Ò¸ð´Â ÁÙ¾îµå´Â ¹Ý¸é ¼º´ÉÀº Çâ»óµÇ±â ¶§¹®¿¡ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ÀÌ ¾Õ¼³¼ö·Ï À¯¸®ÇÏ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 7³ª³ë EUV °øÁ¤Àº 10³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ Àü·Â ¼Ò¸ð´Â 50% ÁÙ¾îµé°í ¼º´ÉÀº 20% Çâ»óµÈ´Ù.

¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé±â À§Çؼ­´Â ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î¸¦ »õ°Ü ³Ö´Â °úÁ¤À» °ÅÃÄ¾ß ÇÑ´Ù. À̶§ ·¹ÀÌÀú ±¤¿øÀ» ¿þÀÌÆÛ¿¡ ½î´Â ³ë±¤ °úÁ¤À» °ÅÄ¡´Âµ¥ EUV °øÁ¤Àº ±ØÀڿܼ±À» ÀÌ¿ëÇØ ³ë±¤À» ÁøÇàÇÑ´Ù. EUV´Â ±âÁ¸ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇϰí ÀÖ´Â ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF)º¸´Ù ÆÄÀåÀÌ Âª¾Æ ´õ ¹Ì¼¼ÇÏ°í º¹ÀâÇÑ ÆÐÅÏÀ» ȸ·Î¿¡ »õ±æ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ±âÁ¸¿¡´Â ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ ³ë±¤ °øÁ¤À» ¿©·¯ Â÷·Ê ¹Ýº¹ÇØ¾ß ÇßÁö¸¸ EUV °øÁ¤Àº ´Ü°è¸¦ ÁÙÀÌ´Â °Ô °¡´ÉÇØ »ý»ê¼ºµµ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡¼­´Â 10³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ °øÁ¤À» µµÀÔÇÏ·Á¸é EUV °øÁ¤ÀÌ ÇʼöÀûÀ¸·Î µµÀÔµÅ¾ß ÇÑ´Ù°í º¸°í ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 7³ª³ë EUV °øÁ¤ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÔ¿¡ µû¶ó ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß¿¡¼­ ¾÷°è 1À§ ´ë¸¸ TSMC¿ÍÀÇ °æÀïÀÌ º»°ÝÈ­ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÃÖ±Ù Àü ¼¼°è ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀº Á÷Á¢ ¼³°è¸¸ ÇÏ°í »ý»êÀº ¿ÜºÎ ¾÷ü¿¡ ¸Ã±â´Â ¹æ½ÄÀ» ÅÃÇϰí ÀÖ´Ù. ¾ÖÇÃ, Ä÷ÄÄ µîÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ¿Í TSMC´Â ÃÖ±Ù ¸î ³â°£ ¾ÖÇÃ, Ä÷ÄÄ µîÀÇ ¹°·®À» »¯°í »©¾Ñ±â´Â °æÀïÀ» ¹ú¿© ¿Ô´Ù. TSMC´Â »ï¼ºÀüÀÚº¸´Ù ¾Õ¼­ 7³ª³ë °øÁ¤À» µµÀÔÇØ ¾ÆÀÌÆùXS¿¡ žÀçµÈ ¾ÖÇà A12 ¹ÙÀÌ¿À´ÐÀ» ¼öÁÖÇß´Ù. Ä÷ÄÄ ½º³Àµå·¡°ï Â÷±â ¸ðµ¨µµ TSMC°¡ »ý»êÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÇÏÁö¸¸ TSMCÀÇ 7³ª³ë °øÁ¤Àº ºÒÈ­¾Æ¸£°ïÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î, EUV µµÀÔÀº ³»³â¿¡³ª °¡´ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. TSMCº¸´Ù ¸ÕÀú 7³ª³ë EUV °øÁ¤À» µµÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ »ï¼ºÀüÀڷμ± »©¾Ñ±ä °í°´À» µÇã¾Æ¿Ã ¼ö ÀÖ´Â °è±â¸¦ ¸¶·ÃÇÑ ¼ÀÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³â ¸»±îÁö È­¼ºÄ·ÆÛ½º¿¡ EUV »ý»ê¶óÀÎÀ» ¿Ï°øÇϰí 2020³â º»°Ý °¡µ¿À» ¸ñÇ¥·Î Çϰí ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ 8¿ù¿¡´Â ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ EUV »ý»ê ¶óÀÎÀ» ¹æ¹®ÇØ ¡°±â¼ú ÃʰÝÂ÷°¡ ¹Ýµå½Ã À¯ÁöµÅ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í ´çºÎÇϱ⵵ Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­ Ãʱâ¼ú °ÝÂ÷¸¦ ÅëÇØ ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß 1À§¸¦ Áö۰í ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼, ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ È®´ë·Î ¿Ü¿¬À» ³ÐÈù´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

7³ª³ë EUV °øÁ¤ µµÀÔÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÌ ¼øÇ×ÇÏ¸é ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® ¸ÅÃâÀÌ 100¾ï ´Þ·¯¸¦ ³Ñ¾î¼³ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸Áµµ ³ª¿Â´Ù. ÀÌ·² °æ¿ì »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼­ ´Ü¼û¿¡ 2À§±ÇÀ¸·Î ¼øÀ§¸¦ ²ø¾î¿Ã¸± ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.

±èÁØ¿± ±âÀÚ snoopy@kmib.co.kr



GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
Ŭ¸¯! ±â»ç´Â ¾î¶°¼Ì³ª¿ä?
¸¹ÀÌ º» ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸°¡ ²Ä²ÄÈ÷ Àо°í ¼±Á¤ÇÑ
¿À´ÃÀÇ Ãßõ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸ ½Å¹®±¸µ¶