
Áö³ª ·¯¸óµµ ¹Ì±¹ »ó¹«Àå°üÀº Áß±¹ÀÌ ÃÖ÷´Ü ĨÀ» žÀçÇÑ ½Å±Ô ½º¸¶Æ®ÆùÀ» ´ë·® »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Áõ°Å°¡ ¾ø´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿þÀÌ ÃøÀÌ 7³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬¡¤10¾ïºÐÀÇ 1m) °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ Àû¿ëÇØ ³»³õÀº ¡®¸ÞÀÌÆ® 60 ÇÁ·Î¡¯ Á¦Ç°ÀÌ ÇÑÁ¤ ¼ö·®¿¡ ±×Ä¥ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ½ÃÀå ºÐ¼®°ú ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù.
·¯¸óµµ Àå°üÀº 19ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ÇÏ¿ø °úÇС¤¿ìÁÖ¡¤±â¼úÀ§¿øÈ¸°¡ ÁÖ°üÇÑ ¹ÝµµÃ¼Áö¿ø¹ý 1³â Æò°¡ û¹®È¸¿¡¼ ¡°¿ì¸®´Â Áß±¹ÀÌ 7§¬ ºÎǰÀ» ´ë±Ô¸ð·Î ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¾î¶² Áõ°Åµµ °¡Áö°í ÀÖÁö ¾Ê´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â ÀÚ½ÅÀÌ Áß±¹¿¡ ÀÖÀ» ¶§ È¿þÀ̰¡ ÷´Ü ĨÀ» žÀçÇÑ »õ ÈÞ´ëÀüȸ¦ Ãâ½ÃÇß´Ù¸ç ¡°(´ç½Ã) Ȱ¡ ³µ´Ù(upset)¡±°í ¸»Çß´Ù.
·¯¸óµµ Àå°üÀº ¶Ç ¡°¿ì¸®´Â Áß±¹ÀÌ ¹Ì±¹À» ÇØÄ¥ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ½ÄÀÇ ±â¼úÀ» ¹ßÀü½Ãų ¼ö ¾øµµ·Ï ¿ì¸®°¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸ðµç µµ±¸¸¦ »ç¿ëÇϰí ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°»ó¹«ºÎ´Â ¾î¶² ±â¾÷ÀÌµç ¹Ì±¹ ¼öÃâ ÅëÁ¦¸¦ À§¹ÝÇß´Ù´Â ½Å·ÚÇÒ¸¸ÇÑ Áõ°Å¸¦ ãÀ» ¶§¸¶´Ù À̸¦ Á¶»çÇÑ´Ù¡±°í °Á¶Çß´Ù. ·¯¸óµµ Àå°üÀº ´Ù¸¸ ¾î¶² Á¶»ç°¡ ÁøÇà ÁßÀÎÁö¿¡ ´ëÇØ¼´Â ¾ð±ÞÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
¾Õ¼ È¿þÀÌ´Â Áö³´Þ 29ÀÏ ¹Ì±¹ ¼öÃâÅëÁ¦ ±âÁØÀ» ¶Ù¾î³Ñ´Â 7§¬ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼¼¸¦ Àû¿ëÇÑ ±â¸° 9000s Ĩ ³»Àå ½ÅÇü ½º¸¶Æ®Æù ¸ÞÀÌÆ® 60 ÇÁ·Î¸¦ °ø°³ÇÏ¸ç ¹Ì±¹ Á¦Àç È¿°ú¿¡ ´ëÇÑ Àǹ®ÀÌ Á¦±âµÆ´Ù. ±×·¯³ª Àü¹®°¡µéÀº Áß±¹ÀÌ ¹Ì±¹ÀÇ Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±ÔÁ¦¸¦ ¿ìȸÇÑ ³·Àº »ç¾ç Àåºñ·Î À̸¦ ¸¸µé¾úÀ» °¡´É¼ºÀ» Á¦±âÇß´Ù. ¹Ì±¹Àº 7§¬ °øÁ¤ÀÇ Çʼö ÀåºñÀÎ ASML»çÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ ±ÔÁ¦Çߴµ¥, Áß±¹Àº ÀÌÀü ´Ü°è Á¦Ç°ÀÎ ½ÉÀڿܼ±(DUV) Àåºñ¸¦ ½è´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
DUV·Î 7³ª³ë ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸, ºÒ·®·üÀº ³ô¾ÆÁø´Ù. Àü¹®°¡µéÀº DUV¸¦ ÅëÇÑ 7§¬ °øÁ¤ ¼öÀ²À» 15% ¼öÁØÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù. ¼öÀ²ÀÌ ³·¾Æ »ý»ê·®À» ´Ã¸±¼ö·Ï ¼ÕÇØ°¡ ¹ß»ýÇÏ´Â ±¸Á¶´Ù.
´Ù¸¸ È«Äá ÇÏÀÌÅë ÀÎÅͳ»¼Å³Î Áõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â È¿þÀ̰¡ 2023³â ±â¸° 9000s¸¦ žÀçÇÑ ½º¸¶Æ®ÆùÀ» 1500¸¸ ´ë »ý»êÇÒ °èȹÀ̶ó°í ÃßÁ¤Çß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó °øÈ´çÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ´ëÁß±¹ ¼öÃâÅëÁ¦ Àü¸é È®´ë ÁÖÀåµµ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. ¸¶ÀÌŬ ¸ÅÄÝ ÇÏ¿ø ¿Ü±³À§¿øÀå µî °øÈ´ç ÀÇ¿ø 10¸íÀº Áö³ 14ÀÏ ¾Ù·± ¿¡½ºÅ׺£½º »ê¾÷¾Èº¸Â÷°ü¿¡ ¼ÇÑÀ» º¸³»°í ¡°±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸Á Àü¹Ý¿¡ ¹Ì±¹»ê ±â¼úÀÌ º¸ÆíÈÇÑ »óȲ¿¡¼ È¿þÀÌÀÇ 7§¬ ½º¸¶Æ®Æù Ãâ½Ã´Â ¹Ì±¹ ¼öÃâÅëÁ¦ ±ÔÁ¤ À§¹Ý¡±À̶ó¸ç »ó¹«ºÎ°¡ È¿þÀÌ¿Í SMIC, ±×¸®°í ÀÌµé ±â¾÷ÀÇ ¸ðµç ÀÚȸ»ç¸¦ ±ÔÁ¦ ¸í´Ü¿¡ ¿Ã¸®¶ó°í ¿ä±¸Çß´Ù. ¶Ç È¿þÀÌ¿Í SMIC¿¡ ¹ß±ÞµÈ ±âÁ¸ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ÀüºÎ Ãë¼ÒÇϰí, °æ¿µÁøÀ» Çü»ç °í¹ßÇ϶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.
ÇÑÆí ·¯¸óµµ Àå°üÀº À̳¯ ¹ÝµµÃ¼¹ý¿¡ µû¸¥ Áö¿ø±Ý ÇýÅÃÀÌ Áß±¹¿¡ °¡Áö ¾Êµµ·Ï Áß±¹ »ç¾÷ È®ÀåÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â °¡µå·¹ÀÏ ÃÖÁ¾ ±ÔÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¡°¼öÁÖ ³»·Î ¿Ï¼ºµÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°Áö¿ø±ÝÀÇ ´Ü 1¼¾Æ®µµ Áß±¹ÀÌ ¿ì¸®¸¦ ¾Õ¼°¡´Â µ¥ µµ¿ò µÇÁö ¾Êµµ·Ï ¹Ù¦ °æ°èÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿ö½ÌÅÏ=Àü¿õºó ƯÆÄ¿ø imung@kmib.co.kr
GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö