수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다. 또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다.
A씨는 지난 2016년 세메스를 퇴직 후 2019년 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 ‘초임계 반도체 세정장비’ 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.
협력사 대표 C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 A씨로부터 38억원 투자금을 받은 것으로 드러났다. 브로커 B씨는 16억원을 전달받았다.
초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비로, 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술이다. 산업통상자원부가 국가핵심기술로 지정했다.
A씨는 지난해 9월쯤 중국 민간 반도체 업체에 초임계 세정장비 10대(대당 248억원)를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 협약했다. 하지만 검찰 수사가 시작되면서 실제 장비 납품은 이뤄지지 않았다.
A씨는 함께 구속 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 ‘매엽식 인산 세정장비 기술 정보’를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다.
인산 세정장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.
검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 A씨 업체 공장에 있던 습식 반도체 세정장비 본체 6세트와 예금 채권, 부동산 등을 가압류해 약 535억원 상당을 보전조치 했다.
A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 구속 기소된 바 있다
그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔다.
하지만 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.
수원=강희청 기자 kanghc@kmib.co.kr
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