SK머티리얼즈는 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다.
초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달하는 제품이다.
지금까지는 일본에 대부분 의존해왔으나, 수출규제가 지속하면서 안정적 공급을 위해 국산화에 속도를 내고 있다.
SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다.
이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다.
불화수소와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업이 본격화하고 있다.
SK머티리얼즈는 최근 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 포토레지스트는 빛에 노출되면 약품에 대한 내성이 변해 반도체 회로 패턴 구성에 사용되는 재료다.
반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트를 바르고 노광 장비로 빛을 쏘면 빛의 노출에 반응해 화학적 성질이 변하면서 회로 패턴이 새겨진다.
SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재이며 불화아르곤 포토레지스트는 포토레지스트의 일종으로 두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적 고부가 제품이다.
특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외의존도가 90%에 달해, 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해진다. SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만 갤런 규모의 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다.
김준엽 기자 snoopy@kmib.co.kr
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