
¹Ì±¹°ú Áß±¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â½Î¿òÀ» ¹úÀ̰í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±âµµ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º¿¡ ÆÄ¿îµå¸®(À§Å¹»ý»ê) »ý»ê ½Ã¼³À» Ãß°¡·Î ±¸ÃàÇÑ´Ù°í 21ÀÏ ¹àÇû´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº ÀÌ¿Í °ü·Ã ¡°¾î·Á¿ï ¶§Àϼö·Ï ¹Ì·¡¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ¸ØÃç¼´Â ¾È µÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. Áö³ 2¿ù EUV Àü¿ë ȼº ¡®V1 ¶óÀΡ¯ °¡µ¿¿¡ ÀÌ¾î ÆòÅñîÁö ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ ¡®¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030¡¯¸¦ ¹ßÇ¥Çϰí ÀÌ¿¡ µû¶ó ¼¼ºÎ Àü·«À» ½ÇÇà ÁßÀÌ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® »ý»ê ½Ã¼³ ±¸ÃàÀº EUV(Extreme Ultra Violet¡¤±ØÀڿܼ±) ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â ÈÄ¼Ó Á¶Ä¡ ÀÏȯÀÌ´Ù. EUV ³ë±¤ ±â¼úÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï(ArF)À» ´ëüÇÒ Â÷¼¼´ë ±¤¿øÀ¸·Î °í±â´É°ú »ý»ê¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÆÄÀåÀÇ ±æÀ̰¡ ºÒȾƸ£°ï(ArF)ÀÇ 14ºÐÀÇ 1 ¹Ì¸¸¿¡ ºÒ°úÇØ ´õ ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇϰí, °øÁ¤À» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸ð¹ÙÀÏ, HPC(High Performance Computing), AI µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß·Î Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¼ú Àû¿ë ¹üÀ§¸¦ È®´ëÇØ ³ª°¥ ¹æÄ§ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ´Þ ÆòÅà ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ °ø»ç¿¡ Âø¼öÇß°í 2021³â ÇϹݱâºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2019³â ȼº S3 ¶óÀο¡¼ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV ±â¹Ý 7³ª³ë ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ÀÌÈÄ, 2020³â V1 ¶óÀÎÀ» ÅëÇØ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ »ý»ê ±Ô¸ð¸¦ È®´ëÇØ ¿Ô´Ù. ¿©±â¿¡ 2021³â ÆòÅà ¶óÀÎÀÌ °¡µ¿µÇ¸é 7³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê ±Ô¸ð´Â ´õ °¡ÆÄ¸£°Ô Áõ°¡ÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 5³ª³ë Á¦Ç°À» ¿ÃÇØ ÇϹݱ⿡ ȼº¿¡¼ ¾ç»êÇÑ µÚ, ÆòÅà ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀο¡¼µµ ÁÖ·Â »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇÁ¸®¹Ì¾ö ¸ð¹ÙÀÏ Ä¨À» ÇʵηΠÇÏÀÌ¿£µå ¸ð¹ÙÀÏ ¹× ½Å±Ô ÀÀ¿ëó·Î ÷´Ü EUV °øÁ¤ Àû¿ëÀ» È®´ëÇØ ³ª°£´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù. Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ »çÀåÀº ¡°5³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤ Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê ±Ô¸ð¸¦ È®´ëÇØ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼ ½ÃÀå ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇÒ °Í¡±À̶ó¸ç, ¡°Àü·«Àû ÅõÀÚ¿Í Áö¼ÓÀûÀÎ Àη ä¿ëÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ ÅºÅºÇÑ ¼ºÀåÀ» À̾°¥ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀº 5G, HPC, AI, ³×Æ®¿öÅ© µî ½Å±Ô ÀÀ¿ëó È®»ê¿¡ µû¶ó Ãʹ̼¼ °øÁ¤ Áß½ÉÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. 2019³â ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 568¾ï7000¸¸´Þ·¯(66Á¶¿ø)¸¦ ±â·ÏÇß´Ù. ¿ÃÇØ´Â Àü³â ´ëºñ 6.8% ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¿ÃÇØ 1ºÐ±â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ¸ÅÃâÀº 29¾ï9600¸¸´Þ·¯(3Á¶8000¾ï¿ø)¸¦ ±â·Ï ½ÃÀå Á¡À¯À² 15.9%·Î ¾÷°è 2À§´Ù.
´ë¸¸ TSMCÀÇ 1ºÐ±â ¸ÅÃâÀº 102¾ï´Þ·¯(12Á¶9000¾ï¿ø)·Î ½ÃÀå Á¡À¯À² 54.1%¸¦ Â÷ÁöÇØ ¾÷°è 1À§¸¦ Áö۰í ÀÖ´Ù. TSCM¿Í »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ÀÌ¾î ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®°¡ Á¡À¯À² 7.7%·Î 3À§¸¦, UMC°¡ 7.4%·Î 4À§, SMIC°¡ 4.5%·Î 5À§¸¦ Â÷ÁöÇÑ´Ù. TSMC´Â Áö³ 15ÀÏ ¹Ì±¹ ¾Ö¸®Á¶³ª¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ½Å±Ô °øÀåÀ» °Ç¼³ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì±¹ ÅØ»ç½ºÁÖ ¿À½ºÆ¾¿¡¼ ÆÄ¿îµå¸® °øÀåÀ» ÀÌ¹Ì °¡µ¿ ÁßÀÌ´Ù.
°ÁÖÈ ±è¼ºÈÆ ±âÀÚ rula@kmib.co.kr
GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
2094