¾ÆÅ©·¹Æ½, ¹ÝµµÃ¼ ¿ÍÀÌÆÛ ¾ç»ê Àåºñ °ø±Þ °è¾à

ÀÔ·Â:2022-03-31 11:25
°øÀ¯Çϱâ
±ÛÀÚ Å©±â Á¶Á¤
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀåÄ¡ ¹× Á¤¹Ð°èÃøÀåºñ Á¦Á¶¾÷üÀÎ ¢ß¾ÆÅ©·¹ÅØ ÄÚ¸®¾Æ´Â 4~8ÀÎÄ¡ SiC(½Ç¸®ÄÜÄ«¹ÙÀ̵å) ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¾ç»ê¿ë Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í 31ÀÏ ¹àÇû´Ù.

À̹ø¿¡ °è¾àÀ» ü°áÇÑ ±×¶óÀδõ(HRG Series) ¹× CMP Modification(ChaMP Series) µîÀÇ Àåºñ´Â ½ê´ÐÀÇ ½Å±Ô°øÀå(Ãæ³² õ¾È ¼ÒÀç)¿¡ ¿¬±¸ ¹× »ý»ê½Ã¼³·Î ¹ÝÀ﵃ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

½ê´ÐÀº ±¹³»¿¡¼­ À¯ÀÏÇÏ°Ô SiC ¿þÀÌÆÛ »ý»ê(Àü°øÁ¤) ÀÚü±â¼úÀ» º¸À¯ÇÑ ¾÷ü´Ù. »ç¸ðÆÝµå REF¿î¿ë»çÀÎ ÆÄ¶óÅõ½ºÀκ£½ºÆ®¸ÕÆ®°¡ SKCÀ¸·ÎºÎÅÍ 700¾ï¿ø¿¡ ÀμöÇØ ¼³¸³Çß´Ù. À̹ø °è¾à¿¡ µû¶ó Àåºñ °ø±ÞÀÌ ÀÌ·ïÁö¸é ±âÁ¸ 6ÀÎÄ¡·Î ÇÑÁ¤µÈ SiC ±â¹Ý¿¡ 4~8ÀÎÄ¡±îÁö Ãß°¡ ¿É¼ÇÀ» °®Ãß°Ô µÈ´Ù. 8ÀÎÄ¡±îÁöÀÇ Â÷º°È­µÈ Á¦Ç°µéÀ» ±âÁ¸ ¹× ½Å±Ô °í°´µé¿¡°Ô °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.

´ë¸¸ ½ÃÀåÁ¶»ç ¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é Àü±âÂ÷ º¸±Þ¿¡ ÇʼöÀûÀÎ 6ÀÎÄ¡ SiC Àü·Â¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼ö¿ä´Â 2021³â 12¸¸Àå¿¡¼­ 2025³â 169¸¸ÀåÀ¸·Î È®´ëÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

±èÁØ¿± ±âÀÚ snoopy@kmib.co.kr

GoodNews paper ¨Ï ±¹¹ÎÀϺ¸(www.kmib.co.kr), ¹«´ÜÀüÀç, ¼öÁý, Àç¹èÆ÷ ¹× AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö
Ŭ¸¯! ±â»ç´Â ¾î¶°¼Ì³ª¿ä?
¸¹ÀÌ º» ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸°¡ ²Ä²ÄÈ÷ Àо°í ¼±Á¤ÇÑ
¿À´ÃÀÇ Ãßõ±â»ç
±¹¹ÎÀϺ¸ ½Å¹®±¸µ¶