삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.
4일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산 불화수소 대체품을 투입했다. 새로 투입된 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다. 삼성전자는 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 대체품 투입을 확대해나갈 계획이다.
삼성전자가 일본산 불화수소 대체품을 사용한 것은 일본 정부가 수출 규제를 선언한 후 약 두 달만이다.
불화수소는 반도체·디스플레이 공정에서 패널이나 회로를 식각하거나 표면 세정에 사용된다. 일본 정부가 수출 규제를 강화한 3대 품목 중 하나이다.
삼성전자는 일본 정부의 수출 규제 직후 공급처 다변화를 위해 국내외 다양한 제품을 테스트해왔다. 당초 테스트 마무리까지 최대 6개월 이상이 걸릴 것으로 예상됐지만 조기에 완료된 것으로 보인다.
LG디스플레이는 국산 불화수소를 디스플레이 제조 공정에 투입했으며, 삼성디스플레이도 테스트 마무리 단계로 보인다. SK하이닉스는 국내외 제품을 테스트하고 있지만 아직 대체품 투입 여부를 결정하지 못한 것으로 알려졌다.
김남중 기자 njkim@kmib.co.kr
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